【資料圖】
螺線(Solenoid)線圈在電子行業(yè)的眾多領(lǐng)域都有著極廣泛的應(yīng)用:在傳感器中,可作磁通門或者巨磁阻的激勵(lì)線圈、電流傳感器的感應(yīng)線圈等;在執(zhí)行器中,可用于微驅(qū)動(dòng),例如智能手機(jī)中觸覺反饋Taptic Engine、手機(jī)攝像頭變焦和電磁推桿等;在能量采集器中,可用于電磁式振動(dòng)能量采集器的線圈;在功率電子器件中,可用作扼流的共模線圈,也可用作傳導(dǎo)電能的變壓器和功率電感;在射頻系統(tǒng)中,用于頻率發(fā)生、信號(hào)發(fā)射和接收等功能。
螺線線圈由著名的物理學(xué)家安培于1820年發(fā)明,其本質(zhì)上可以看作是一個(gè)電磁相互作用的放大器。螺線線圈發(fā)明已經(jīng)有200多年,除部分用疊層工藝和半導(dǎo)體薄膜工藝外,目前線圈主要還是由漆包線繞制而成。因?yàn)樽鳛橐环N復(fù)雜的三維金屬結(jié)構(gòu),毫米級(jí)螺線線圈在晶圓上的批量制造極具挑戰(zhàn)性。
△ 基于MEMS線圈的可發(fā)電手表